Исследовалось влияние температуры роста на плотность, латеральный размер ивысоту квантовых точек InAs-GaAs по данным просвечивающей электронной микроскопии. Сувеличением температуры роста от450 до520oC наблюдается уменьшение плотности квантовых точек, атакже увеличение их латерального размера иум...
Исследовалось влияние температуры роста на плотность, латеральный размер ивысоту квантовых точек InAs-GaAs по данным просвечивающей электронной микроскопии. Сувеличением температуры роста от450 до520oC наблюдается уменьшение плотности квантовых точек, атакже увеличение их латерального размера иуменьшение высоты, т. е. точки приобретают более плоскую форму. Коротковолновый сдвиг линии фотолюминесценции свидетельствует об уменьшении объема квантовых точек. Наблюдаемые закономерности находятся всогласии свыводами термодинамической теории роста. Исследовалось также влияние понижения температуры подложки непосредственно после формирования квантовых точек на их параметры. При понижении температуры происходит уменьшение латерального размера точек иувеличение их плотности, т. е. массивы квантовых точек стремятся приобрести равновесные параметры, соответствующие температуре, до которой осуществляется охлаждение. Высота квантовых точек при охлаждении увеличивается очень быстро, ипри конечном времени охлаждения может превышать равновесное значение, что открывает возможности для создания массивов квантовых точек стребуемым отношением высоты клатеральному размеру путем выбора времени охлаждения.
Черкашин Н.А., Максимов М.В., Макаров А.Г., Щукин В.А., Устинов В.М., Луковская Н.В., Мусихин Ю.Г., Цырлин Г.Э., Берт Н.А., Алферов Ж.И., Леденцов Н.Н., Бимберг Д. Управление параметрами массивов квантовых точек InAs--GaAs врежиме роста Странского--Крастанова // ФТП, 2003, том 37, выпуск 7, Стр. 890