Методом молекулярно-лучевой эпитаксии при 200oC выращена сверхрешетка InAs/GaAs, содержащая 30 delta-слоев InAs, номинальной толщиной 1 монослой, разделенных слоями GaAs толщиной 30 нм. Установлено, что концентрация избыточного мышьяка в такой сверхрешетке составляет 0.9· 1020 см-3. Отжиг об...
Методом молекулярно-лучевой эпитаксии при 200oC выращена сверхрешетка InAs/GaAs, содержащая 30 delta-слоев InAs, номинальной толщиной 1 монослой, разделенных слоями GaAs толщиной 30 нм. Установлено, что концентрация избыточного мышьяка в такой сверхрешетке составляет 0.9· 1020 см-3. Отжиг образцов при 500 и 600oC в течение 15 мин привел к преципитации избыточного мышьяка преимущественно на delta-слоях InAs. В результате была получена сверхрешетка двумерных слоев наноразмерных кластеров As, пространственно совпадающая со сверхрешеткой delta-слоев InAs в матрице GaAs.
Чалдышев В.В., Берт Н.А., Куницын А.Е., Мусихин Ю.Г., Преображенский В.В., Путято М.А., Семягин Б.Р., Третьяков В.В., Werner P. Сверхрешетка кластеров мышьяка варсениде галлия, выращенном молекулярно-лучевой эпитаксией принизкой температуре // ФТП, 1998, том 32, выпуск 10, Стр. 1161