Рассмотрены возможности метода ЭПР при исследовании и контроле процесса нейтронного трансмутационного легирования (НТЛ) полупроводниковых материалов германия, кремния и карбида кремния. Показано, что метод ЭПР позволяет непосредственно контролировать процессы отжига радиационных дефектов в п...
Рассмотрены возможности метода ЭПР при исследовании и контроле процесса нейтронного трансмутационного легирования (НТЛ) полупроводниковых материалов германия, кремния и карбида кремния. Показано, что метод ЭПР позволяет непосредственно контролировать процессы отжига радиационных дефектов в полупроводниковых материалах, подвергнутых нейтронному облучению, и следить за восстановлением сигналов ЭПР мелких доноров в процессе отжига дефектов, компенсирующих доноры. Метод ЭПР может быть использован для раздельной регистрации изолированных доноров и обменно-связанных пар, троек и больших кластеров донорных атомов, а следовательно, и для выявления степени однородности распределения примеси в кристалле. Показано, что нейтронное легирование приводит к достаточно однородному распределению доноров мышьяка в кристалле германия. Обоснована необходимость использования обогащенных выделенными изотопами полупроводниковых материалов для НТЛ. Представлены результаты исследования доноров фосфора в карбиде кремния. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (проекты N 00-02-16950, 00-02-16992 и 02-02-176052), а также МНТЦ (проект N 1354).
Баранов П.Г., Ионов А.Н., Ильин И.В., Копьев П.С., Мохов Е.Н., Храмцов В.А. Электронный парамагнитный резонанс внейтронно-легированных полупроводниках сизмененным изотопным составом // ФТТ, 2003, том 45, выпуск 6, Стр. 984