Установлено, что в кремнии, предварительно сильно легированном бором с помощью ионной имплантации, при последующей \glqq горячей\grqq имплантации азота имеет место аномально высокая концентрация электронов, которая может превышать концентрацию бора. Предложена модель этого явления, основа...
Установлено, что в кремнии, предварительно сильно легированном бором с помощью ионной имплантации, при последующей \glqq горячей\grqq имплантации азота имеет место аномально высокая концентрация электронов, которая может превышать концентрацию бора. Предложена модель этого явления, основанная на реакции вытеснения бора из узлов решетки собственными межузельными атомами кремния и последующего замещения атомами азота (донорными центрами).
Тетельбаум Д.И., Зорин Е.И., Лисенкова Н.В. Аномальная растворимость имплантированного азота вкремнии, сильно легированном бором // ФТП, 2004, том 38, выпуск 7, Стр. 808