Исследовались образцы p-Si, облученные электронами с энергией 8 МэВ. На основе анализа зависимостей времени жизни неосновных носителей токаtau, удельного сопротивленияrho, концентрацииp и холловской подвижности muH от температуры изохронного отжига Tann высказано предположение, что многокомпонент...
Исследовались образцы p-Si, облученные электронами с энергией 8 МэВ. На основе анализа зависимостей времени жизни неосновных носителей токаtau, удельного сопротивленияrho, концентрацииp и холловской подвижности muH от температуры изохронного отжига Tann высказано предположение, что многокомпонентные комплексы V3+O или V2+O2 не являются рекомбинационными центрами. Глубокие доноры с энергетическими уровнями Delta Ei=Ev+0.40 эВ, комплексы типа V3+O3 или V3+O2 влияют на величиныmuH иtau. По кривым изохронного отжига определены энергии активации отжига Eann для таких дефектов, как K-центры, межузельный углерод Ci, комплексы V+B, V2+O2, дивакансииV2, а также для дефектов с уровнями Delta Ei=Ev+0.20 эВ, которые равняются Eann=0.9, 0.25, 1.6, 2, 1.54 и2.33 эВ соответственно.
Пагава Т.А. Исследование рекомбинационных центров воблученных кристаллахp-Si // ФТП, 2004, том 38, выпуск 6, Стр. 665