Исследован акустический отклик монокристаллов кремния на воздействие импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности с длиной волны возбуждения 1.06 mum. Впервые обнаружено, что при сверхпороговой плотности потока энергии лазерного излучения, отвечающей режиму плавления поверхности, н...
Исследован акустический отклик монокристаллов кремния на воздействие импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности с длиной волны возбуждения 1.06 mum. Впервые обнаружено, что при сверхпороговой плотности потока энергии лазерного излучения, отвечающей режиму плавления поверхности, наблюдается дополнительное акустическое излучение, задержанное во времени по отношению к фотоакустическому отклику. Время задержки линейно зависит от мощности лазерного излучения и изменяется в интервале от единиц до десятков миллисекунд. На основании сопоставления параметров акустического излучения с динамикой развития термоупругих напряжений в зоне лазерного воздействия, а также с кинетикой плавления облучаемой поверхности образца показано, что источником дополнительного акустического излучения является процесс образования трещин под действием поля термоупругих напряжений.
Блонский И.В., Тхорик В.А., Цицилиано А.Д. Акустическая эмиссия в процессе лазерного отжига монокристаллов кремния // ФТТ, 1997, том 39, выпуск 3, Стр. 505