Исследованы микроструктура, морфология и магнитные свойства пленок FeAlN, осажденных методом реактивного радиочастотного распыления с последующим синтезом с использованием трех способов: in situ, ex situ (процессы распыления и отжига разделены) и термокристаллизации аморфных сплавов. Пленки FeA...
Исследованы микроструктура, морфология и магнитные свойства пленок FeAlN, осажденных методом реактивного радиочастотного распыления с последующим синтезом с использованием трех способов: in situ, ex situ (процессы распыления и отжига разделены) и термокристаллизации аморфных сплавов. Пленки FeAlN, синтезированные методом ex situ, имеют лучшие магнитомягкие характеристики. Методом термокристаллизации аморфных сплавов получены пленки с наивысшей стабильностью свойств по температуре. Наилучшими магнитомягкими свойствами обладают пленки толщиной 800--1000 nm. Установлены зависимости свойств FeAlN пленок от содержания в них азота и от температуры отжига. Определен режим синтеза наноструктурных тонких пленок FeAlN, обладающих лучшими магнитомягкими характеристиками (индукция насыщения BS=1.8 T, коэрцитивная сила HC=1.2 Oe и магнитная восприимчивость mu1 (1 MHz)=3400 ). Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 02-02-39006 и 05-02-17791) и Фонда естественных наук Китайской Народной Республики (грант N 60371016). PACS: 81.15.Cd, 68.37Yz, 68.60.Wm, 75.70.Ak
Камзин А.С., Вей Фулинь, Янг Зхенг, Камзин С.А. Исследования свойств FeAlN тонких пленок в зависимости отспособов синтеза // ФТТ, 2006, том 48, выпуск 3, Стр. 463