Предложена новая альтернативная модель образования и трансформации ростовых микроде-фектов в бездислокационных монокристаллах кремния. Гетерогенная диффузионная модель включает одновременно физическое и математическое моделирование и является общим подхо-дом к решению проблемы описания реального механизма образования дефектов. Были рассмотре-ны принципы новой альтернативной математической модели образования вторичных ростовых микродефектов.