Найдено научных статей и публикаций: 3, для научной тематики: МИКРОДЕФЕКТЫ
1.
Бахрушин В.Е., Головань С.В.
, 2003
Рассмотрены современные модели формирования микродефектов в высокосовершенных монокристаллах кремния. Показано, что их основным недостатком является то, что выводы о механизмах зарождения и начальных стадиях роста делаются на основе изучения достаточно крупных микродефектов, прошедших несколько стад...
Рассмотрены современные модели формирования микродефектов в высокосовершенных монокристаллах кремния. Показано, что их основным недостатком является то, что выводы о механизмах зарождения и начальных стадиях роста делаются на основе изучения достаточно крупных микродефектов, прошедших несколько стадий трансформации.Уточнена возможная роль кислорода и других примесей в процессах зарождения и роста микродефектов.
Высокочистые металлические и полупроводниковые материалы. Сборник докладов 9 Международного симпозиума/ Под ред. В.М. Ажажи, В.И. Лапшина, И.М. Неклюдова, В.М. Шулаева. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2003.- С. 97-101
2.
Простомолотов А.И.
- Сложные системы и процессы , 2010
Актуальной прикладной проблемой механики является изучение закономерностей образования микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния большого диаметра как на стадии их выращивания, так и при последующих термообработках вырезаемых из них пластин. Это требует детального изучения сопряженных...
Актуальной прикладной проблемой механики является изучение закономерностей образования микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния большого диаметра как на стадии их выращивания, так и при последующих термообработках вырезаемых из них пластин. Это требует детального изучения сопряженных теплофизических процессов в тепловых узлах промышленных ростовых установок. С учетом тепловой истории и напряженного состояния монокристалла рассчитываются процессы переноса и рекомбинации собственных точечных дефектов и их последующая агломерация в микродефекты. // An actual applied problem of mechanics is studying of micro-defect formation in large diameter dislocation – free silicon single crystals both during its growing, and at the subsequent thermal annealing of produced wafers. It demands the detailed studying conjugated thermo-physical processes in hot zones of industrial growth furnaces. The transport and recombination processes of intrinsic point defects and its subsequent agglomeration in micro-defects are calculated with taking into account of a thermal history and strained state of single crystal.
3.
Таланин В.И., Таланин И.Е
- Сложные системы и процессы , 2009
Предложена новая альтернативная модель образования и трансформации ростовых микроде-фектов в бездислокационных монокристаллах кремния. Гетерогенная диффузионная модель включает одновременно физическое и математическое моделирование и является общим подхо-дом к решению проблемы описания реального мех...
Предложена новая альтернативная модель образования и трансформации ростовых микроде-фектов в бездислокационных монокристаллах кремния. Гетерогенная диффузионная модель включает одновременно физическое и математическое моделирование и является общим подхо-дом к решению проблемы описания реального механизма образования дефектов. Были рассмотре-ны принципы новой альтернативной математической модели образования вторичных ростовых микродефектов.
