Исследована кинетика электронов в плазме несамостоятельного разряда, формируемого в фокусе СВЧ пучка при воздействии на газ электромагнитного излучения с изменяющейся во времени по методу программированного импульса плотностью потока энергии. Показано, что температура электронов в плазме локализованного СВЧ разряда порядка 1 эВ слабо изменяется в течение импульса накачки и при изменении давления воздуха, тогда как концентрация электронов на порядок величины и более ниже, чем критическая концентрация, и зависит от уровня мощности генератора накачки. Показано, что изменяя режим программированного воздействия, возможно управлять степенью ионизации плазмы.

Рассмотрены процессы возникновения звуковых волн в трубке газового разряда постоянного тока наложением переменной составляющей, определены оптимальные условия генерации.

Из газообразных углеводородов в барьерном разряде при атмосферном давлении получены алмазоподобные пленки. Проведены исследования покрытий методами просвечивающей электронной микроскопии, дифракции электронов и абсорбционной ИК спектроскопии. Изложена методика определения количественных характеристик пленок (доля водорода, соотношение разных видов углерод-углеродных связей и углеводородных групп) с помощью эталонных образцов. Покрытия с наилучшими характеристиками получены из метана (отношение атомов водорода и углерода H/C=1.04, доля алмазоподобных и графитоподобных связей sp3!:! sp2=100%!:!0%) и из смеси ацетилена и водорода в соотношении 1!:!19 (H/C=0.73, sp3!:sp2= 68%:32%).

Предпринята попытка создания электроразрядного источника накачки лазеров на димерах аргона, криптона, ксенона. В основу положен предложенный авторами ранее способ организации разряда, в котором катодное пятно вынесено из области основного разряда, а замыкание разряда на пятно осуществляется по узкому протяженному каналу вспомогательной плазмы. Проведены исследования условий формирования такого разряда. Выскокая устойчивость безыскровой стадии разряда позволила впервые осуществить энерговклад на уровне 100 J/cm2 при давлении ~10 atm, что на несколько порядков выше, чем могут обеспечить традиционные способы. Разработаны разрядная ячейка и система питания многосекционного разряда с активной длиной 200 mm, продемонстрирована надежность всей установки в долговременной эксплуатации.

Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований, направленных на получение генерации на переходах эксимерного Ar2 лазера, возбуждаемого импульсным электрическим разрядом. Показано, что при использовании разработанного недавно разряда с плазменным катодом удается обеспечить квазистационарные условия возбуждения активной среды лазера с коэффициентом усиления на уровне 0.1 см-1. Результаты предварительных экспериментов, выполненных на модельной установке, указывают на эффект монотонного уменьшения длительности спонтанного излучения на переходе димера Ar2 с lambda=126 нм по мере увеличения его пиковой интенсивности, который наблюдается при увеличении интенсивности накачки. Это свидетельствует о наличии в системе эффекта стимулированного излучения. Однако измерения указывают на отсутствие усиления в активной среде, что связано с наличием в рабочем газе неконтролируемых примесей.

Анализируются причины возникновения разряда Пеннинга в электронно-оптических устройствах, работающих в условиях среднего и высокого вакуума, при наличии сопровождающего магнитного поля. Рекомендованы способы его подавления. Приведены основные результаты испытаний по устранению разряда Пеннинга на экспериментальном стенде ОИЯИ (г. Дубна) и накопителе антипротонов LEAR CERN (г. Женева).

Экспериментально исследованы энергетические характеристики XeCl эксиплексной лампы планарной конструкции, накачиваемой тлеющим разрядом низкого давления. При использовании разрядного промежутка длинной 2 cm и смеси Xe--Cl2 в интервале длин волн 200--380 nm получены средняя мощность излучения до 20 mW и эффективность ~ 0.4%, при этом полная эффективность излучения в угол 4pi превышала 4%. Показано, что при увеличении рабочего давления и малых токах разряда можно создавать "точечные" источники излучения.

Предложена теоретическая модель, позволяющая для заданного апериодического импульса разрядного тока самосогласованным образом рассчитать весь процесс протекания искрового разряда, а также последующее охлаждение послеразрядного канала и восстановление электрической прочности с учетом генерации и диссипации турбулентного движения газа. Результаты сравниваются с известными экспериментами Е.П. Белькова, в которых была открыта зависимость скорости восстановления электрической прочности от характеристик импульса разрядного тока, определяющих в конечном счете интенсивность турбулентного движения, возникающего в остывающем канале.

Исследованы характеристики ионного и электронного потоков на поверхность растущей пленки кремния в различных режимах высокочастотного разряда в силане при частотах 13.56 и 58 MHz в установке для плазмохимического осаждения пленок. Измерены энергетические спектры ионов и электронов, бомбардирующих растущую пленку. Исследованы электронные свойства пленок, выращенных при различной ионной бомбардировке. Обсуждается корреляция этих свойств с параметрами ионов в плазме высокочастотного разряда в процессе роста пленок.

Приведены результаты исследований излучения тлеющего разряда в смесях инертных газов и галогенов в цилиндрических трубках различных размеров. Созданы XeCl* и KrCl* эксилампы с накачкой тлеющим разрядом, равномерным пространственным распределением излучения и мощностью до 100 W. Показано, что высокая эффективность эксиламп данного типа достигается за счет эффективного образования эксиплексных молекул в гарпунной реакции и малой скорости их тушения в плазме тлеющего разряда при низких давлениях рабочей смеси.