Построены и исследованы эмпирические функции распределения для показателей неоднород-ности толщины эпитаксиальных слоев в группе кремниевых композиций. Для изученных показа-телей они могут быть представлены в виде суммы двух нормально распределенных величин или как однородная нормально распределенна...