Найдено научных статей и публикаций: 1, для научной тематики: Твердофазні процеси
1.
Степан Петрович Новосядлий, Андрій Іванович Терлецький, Оксана Богданівна Фрик
- Східно-Європейський журнал передових технологій , 2012
Розглянуто фізичні процеси при лазерно-стимульованій твердофазній дифузії домішок в напівпровідникові матеріали та метали. Наведено приклади застосування таких процесів для вирішення конкретних технологічних задач напівпровідникової електроніки....
Розглянуто фізичні процеси при лазерно-стимульованій твердофазній дифузії домішок в напівпровідникові матеріали та метали. Наведено приклади застосування таких процесів для вирішення конкретних технологічних задач напівпровідникової електроніки.
Степан Петрович Новосядлий, Андрій Іванович Терлецький, Оксана Богданівна Фрик Сучасні лазерні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС // Східно-Європейський журнал передових технологій, Vol. 3, Issue 7, 2012, pp. 52-60
