Рассмотрены напряжения, возникающие в деталях из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая графически определить оптимальную температуру проведения соединения. Даны рекомендации по выбору температуры проведения процесса соединения.
Синев Л. С., Рябов В. Т. Согласование коэффициентов термического расширения при электростатическом соединении кремния со стеклом // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 5. С. 24—27.

Рассмотрены механические напряжения, возникающие в деталях изделий микросистемной техники из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом (анодной посадкой), которые возникают из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая оценить характер изменения коэффициентных напряжений и графически определить температуру проведения соединения, при которой минимизируются напряжения в кремнии и стекле в зоне рабочей температуры прибора. Даны рекомендации по выбору температуры проведения анодной посадки.
Синев Л. С., Рябов В. Т., Тиняков Ю. Н. Коэффициентные напряжения при электростатическом соединении кремния со стеклом // Наноинженерия. 2011. №2. С. 16-19.