Самораспыление плоскопараллельных слоев описано теоретически на основе совместного использования метода инвариантного погружения и метода дискретных потоков. Получены дифференциальные уравнения для функций прямого и обратного самораспыления, найдены их точные решения. Найденные энергетические распределения самораспыленных ионов и полные коэффициенты самораспыления сравниваются с результатами компьютерного эксперимента. Проанализированы зависимости полных коэффициентов самораспыления от толщины пленки и начальной энергии ионов.