Найдено научных статей и публикаций: 1, для научной тематики: Контакт металл-полупроводник
1.
Н.Н. Поляков, А.А. Заворотний
- Заводская лаборатория. Диагностика материалов , 2013
На основе определенной математической модели рассмотрен способ измерения и контроля свойств контактов металл – полупроводник. Предложенная математическая модель не требует создания специальной тестовой структуры и может быть использована для определения концентрации и подвижности носителей заряда по...
На основе определенной математической модели рассмотрен способ измерения и контроля свойств контактов металл – полупроводник. Предложенная математическая модель не требует создания специальной тестовой структуры и может быть использована для определения концентрации и подвижности носителей заряда по результатам измерений удельного сопротивления и коэффициента Холла, а также для оценки однородности пластин и пленок по удельному сопротивлению. Расчетные формулы получены без приближений путем решения краевых задач, адекватных физическим условиям. Проанализированы условия, при которых сопротивление растекания двух контактов складывается из сопротивлений растекания каждого контакта в отдельности.
Издательство "Тест-зл", Т. 79, №9, 2013, с. 36-40