Найдено научных статей и публикаций: 1, для научной тематики: Эпитаксия
1.
Бахрушин В.Е.
, 2001
Рассмотрены особенности поведения примесей в монокристаллах кремния, основные механизмы формирования, физические свойства и структурное совершенство слаболегированных слоев кремниевых эпитаксиальных композиций....
Рассмотрены особенности поведения примесей в монокристаллах кремния, основные механизмы формирования, физические свойства и структурное совершенство слаболегированных слоев кремниевых эпитаксиальных композиций.
Бахрушин В.Е. Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций. - Запорожье: ГУ "ЗИГМУ", 2001.- 247 с.
