Найдено научных статей и публикаций: 1, для научной тематики: Літографія
1.
Степан Петрович Новосядлий, Володимир Михайлович Вівчарук
- Східно-Європейський журнал передових технологій , 2012
Приведено фізико-математичні принципи еліпсометрії, суть її використання для визначення оптичних сталих, контролю та дослідження властивостей і процесів отримання функціональних шарів при формуванні субмікронних структур великих інтегральних схем....
Приведено фізико-математичні принципи еліпсометрії, суть її використання для визначення оптичних сталих, контролю та дослідження властивостей і процесів отримання функціональних шарів при формуванні субмікронних структур великих інтегральних схем.
Степан Петрович Новосядлий, Володимир Михайлович Вівчарук Еліпсометрія в субмікронній технології формування структур ВІС // Східно-Європейський журнал передових технологій, Vol. 3, Issue 7, 2012, pp. 8-17
