Найдено научных статей и публикаций: 1, для научной тематики: Епитаксиальний шар
1.
Юрий Васильевич Реков, Иван Федорович Червоный, Сергей Геннадиевич Егоров, Олег Алексеевич Кисарин, Роман Николаевич Воляр
- Східно-Європейський журнал передових технологій , 2012
Розглянуто вплив умов вирощування кременевих основ на утворення на їх поверхні эпитаксиального шару. Виключення освіти на поверхні кременевих основ епитаксиального шару пропонується шляхом проведення процесу плавки в газовому середовищі при тиску вище атмосферного...
Розглянуто вплив умов вирощування кременевих основ на утворення на їх поверхні эпитаксиального шару. Виключення освіти на поверхні кременевих основ епитаксиального шару пропонується шляхом проведення процесу плавки в газовому середовищі при тиску вище атмосферного
Юрий Васильевич Реков, Иван Федорович Червоный, Сергей Геннадиевич Егоров, Олег Алексеевич Кисарин, Роман Николаевич Воляр Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния // Східно-Європейський журнал передових технологій, Vol. 3, Issue 5, 2012, pp. 15-20
