Найдено научных статей и публикаций: 1, для научной тематики: Легированные кремнием
1.
А.В. Глотов, П.В. Середин, Э.П. Домашевская [и др.]
- Физика и техника полупроводников , 2011
Представлены данные рентгеновской дифракции и инфракрасной спектроскопии для полученных
МОС-гидридным методом гетероструктур Alx Ga1−x As : Si/GaAs(100) и гомоэпитаксиальных структур
GaAs : Si/GaAs(100), легированных кремнием до ∼ 1 ат%. Показано, что образование твердых растворов с
кремнием в гомоэ...
Представлены данные рентгеновской дифракции и инфракрасной спектроскопии для полученных
МОС-гидридным методом гетероструктур Alx Ga1−x As : Si/GaAs(100) и гомоэпитаксиальных структур
GaAs : Si/GaAs(100), легированных кремнием до ∼ 1 ат%. Показано, что образование твердых растворов с
кремнием в гомоэпитаксиальных структурах приводит к уменьшению параметра кристаллической решетки
эпитаксиального слоя и отрицательной величине рассогласования с параметром монокристаллической
подложки, a < 0. В то же время образование четверных твердых растворов в гетероструктурах
Alx Ga1−x As : Si/GaAs(100) не приводит к существенным напряжениям кристаллической решетки. Введением
кремния в эпитаксиальные слои этих гетероструктур можно добиться полного согласования параметров
кристаллических решеток пленки и подложки при соответствующем подборе технологических условий роста эпитаксиальных слоев.
Физика и техника полупроводников. – 2011. – Т.45.- №5. – С. 488–499.