Рассмотрены особенности поведения примесей в монокристаллах кремния, основные механизмы формирования, физические свойства и структурное совершенство слаболегированных слоев кремниевых эпитаксиальных композиций.
Бахрушин В.Е. Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций. - Запорожье: ГУ "ЗИГМУ", 2001.- 247 с.

Определены кристаллографические условия, характеризующие возможность визуального (по наличию макроскопической ступеньки на поверхности) и металлографического (по образованию цепочки ямок травления) выявления линий скольжения в кремниевых эпитаксиальных композициях. Показано, что во время осаждения эпитаксиального слоя может происходить аннигиляция дислокаций и их частичное упорядочение в полосе скольжения.
Сложные системы и процессы. - 2005. - № 2. - С. 43 - 48.