Найдено научных статей и публикаций: 1, для научной тематики: Кремниевые эпитаксиальные композиции
1.
Бахрушин В.Е., Ткаченко Р.А.
- Сложные системы и процессы , 2005
Определены кристаллографические условия, характеризующие возможность визуального (по наличию макроскопической ступеньки на поверхности) и металлографического (по образованию цепочки ямок травления) выявления линий скольжения в кремниевых эпитаксиальных композициях. Показано, что во время осаждения э...
Определены кристаллографические условия, характеризующие возможность визуального (по наличию макроскопической ступеньки на поверхности) и металлографического (по образованию цепочки ямок травления) выявления линий скольжения в кремниевых эпитаксиальных композициях. Показано, что во время осаждения эпитаксиального слоя может происходить аннигиляция дислокаций и их частичное упорядочение в полосе скольжения.
Сложные системы и процессы. - 2005. - № 2. - С. 43 - 48.