Найдено научных статей и публикаций: 6, для научной тематики: Тепловое расширение
1.
Синев Л. С.
- Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. , 2015
Синев Л. С. Оценка механических напряжений в соединенных при повышенной температуре кремнии и стекле // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2014. № 12. Режим доступа: http://technomag.bmstu.ru/doc/745310.html
При электростатическом соединении, также известном как анодная посадка, кремний соединяется со стеклом посредством приложения внешней разности потенциалов и одновременного нагрева до температур 200…450 °С. После соединения детали, охлаждаясь до рабочей температуры, взаимно деформируются. Вследствие разности значений коэффициентов теплового линейного расширения стекла и кремния образуются механические напряжения, также называемые коэффициентными. Целью данной работы является определение технологических и конструктивных решений для обеспечения соединения с минимальными коэффициентными напряжениями.
Нелинейная зависимость коэффициентов теплового линейного расширения материалов соединяемых деталей от температуры затрудняет минимизацию коэффициентных напряжений при помощи выбора материалов по справочным данным о средних значениях коэффициентов теплового линейного расширения в температурном диапазоне. Для оценки возможностей по снижению механических напряжений, вызванных разницей тепловых свойств соединяемых материалов, в работе использовали две модели представления сборки: два тонких соединённых слоя и многослойный композиционный материал.
Исходя из свойств двух марок соединяемых стёкол (ЛК5, Borofloat 33) и кремния, на основании описанных моделей рассчитаны значения коэффициентных напряжений при температуре Tw в деталях, соединённых при нескольких разных фиксированных температурах Tb. Показано наличие зависимости коэффициентных напряжений на поверхности кремния от соотношения толщин соединённых кремния и стела. На основании полученных оценок сделан вывод, что, варьируя толщину стекла, можно получить нулевые напряжения на некоторой глубине кремния или же иметь на этой глубине напряжения заданной величины. Приведены способы применения моделей оценки для оптимизации режима проведения электростатического соединения пластин кремния и стекла с целью минимизации влияния коэффициентных напряжений в диапазоне рабочих температур получаемого прибора.
Синев Л. С. Оценка механических напряжений в соединенных при повышенной температуре кремнии и стекле // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2014. № 12. Режим доступа: http://technomag.bmstu.ru/doc/745310.html
2.
Синев Л. С., Рябов В. Т.
- Нано- и микросистемная техника , 2011
Синев Л. С., Рябов В. Т. Согласование коэффициентов термического расширения при электростатическом соединении кремния со стеклом // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 5. С. 24—27.
Рассмотрены напряжения, возникающие в деталях из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая графически определить оптимальную температуру проведения соединения. Даны рекомендации по выбору температуры проведения процесса соединения.
Синев Л. С., Рябов В. Т. Согласование коэффициентов термического расширения при электростатическом соединении кремния со стеклом // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 5. С. 24—27.
3.
Синев Л. С., Рябов В. Т., Тиняков Ю. Н.
- Наноинженерия , 2011
Синев Л. С., Рябов В. Т., Тиняков Ю. Н. Коэффициентные напряжения при электростатическом соединении кремния со стеклом // Наноинженерия. 2011. №2. С. 16-19.
Рассмотрены механические напряжения, возникающие в деталях изделий микросистемной техники из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом (анодной посадкой), которые возникают из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая оценить характер изменения коэффициентных напряжений и графически определить температуру проведения соединения, при которой минимизируются напряжения в кремнии и стекле в зоне рабочей температуры прибора. Даны рекомендации по выбору температуры проведения анодной посадки.
Синев Л. С., Рябов В. Т., Тиняков Ю. Н. Коэффициентные напряжения при электростатическом соединении кремния со стеклом // Наноинженерия. 2011. №2. С. 16-19.
4.
Князев А.В., Черноруков Н.Г., Сазонов А.А., Буланов Е.Н.
- Журнал неорганической химии. , 2012
Журнал неорганической химии. – 2012. – Т.56. – №5. – С.707-713.
Методом высокотемпературных реакций в твердой фазе синтезированы металлторийванадаты с r(MII) ≥ 0.96 Å. Производные марганца и бария получены впервые. Соединения кристаллизуются в трех структурных типах: циркона для производных марганца, кадмия, кальция, стронция и свинца, ше
елита – для фазы свинца, монацита – для соединений, содержащих свинец и барий. Таким образом, в ряду исследованных соединений наблюдаются два морфотропных перехода, в случае металлторийванадатов свинца, стронция и бария – фазовые переходы. Проведено отнесение полос в ИКспектрах. Методом дифференциальной сканирующей калориметрии определены температуры инконгруэнт
ного плавления соединений. Соединения βPbTh(VO4)2 и BaTh(VO4)2 изучены методом высокотемпературной рентгенографии.
Журнал неорганической химии. – 2012. – Т.56. – №5. – С.707-713.
5.
Князев А.В., Буланов Е.Н.
- Радиохимия. , 2011
Радиохимия. – 2011. – Том 53. – № 2. С. – 136-139.
Методом высокотемпературной рентгенографии и дифференциального термического анализа изучены
фазовые переходы и определены коэффициенты теплового расширения уранилборатов состава MI(UO2BO3)(MI = Li, Na). В производном Li обнаружен обратимый полиморфный переход, не сопровождающийся изменением симметрии элементарной ячейки. Коэффициенты теплового расширения β-Li(UO2BO3) в 3–10 раз больше, чем у α-модификации, а αβ меняет знак и становится положительной величиной. Установлено, что анизотропия теплового расширения изученных фаз определяется строением слоев структуры.
Радиохимия. – 2011. – Том 53. – № 2. С. – 136-139.
6.
Черноруков Н.Г., Князев А.В., Буланов Е.Н.
- Неорганические материалы. , 2011
Неорганические материалы. – 2011. – Том 47. – № 2. – С. 215-220.
Методом высокотемпературной рентгенографии и дифференциального термического анализа изучены фазовые переходы и определены коэффициенты теплового расширения в соединениях со
структурой апатита с общей формулой MII5(AVO4)3L(MII – Ca, Sr, Cd, Ba, Pb; AV – P, V; L = F, Cl). В свинецсодержащих апатитах обнаружены фазовые переходы, связанные с понижением симметрии
элементарной ячейки от гексагональной до моноклинной. Установлено, что анизотропия теплового расширения гексагональных модификации изученных фаз увеличивается в ряду Ca – Sr – Ba – Pb – Cd, а моноклинные модификации имеют меньшую анизотропию, но большие значения коэффициентов теплового расширения, чем гексагональные.
Неорганические материалы. – 2011. – Том 47. – № 2. – С. 215-220.