Исследована фотолюминесценция при комнатной температуре в сверхрешетках AlGaN/GaN и эпитаксиальных слояхGaN, имплантированных ионами эрбия с энергией1 МэВ и дозой3·1015 см-2 и отожженных в аргоне. Интенсивность фотолюминесценции ионовEr3+ всверхрешетке выше, чем в эпитаксиальном слое при тем...
Исследована фотолюминесценция при комнатной температуре в сверхрешетках AlGaN/GaN и эпитаксиальных слояхGaN, имплантированных ионами эрбия с энергией1 МэВ и дозой3·1015 см-2 и отожженных в аргоне. Интенсивность фотолюминесценции ионовEr3+ всверхрешетке выше, чем в эпитаксиальном слое при температурах отжига700-1000oC. Максимальное различие в интенсивностях для эпитаксиального слоя и сверхрешетки (~2.8раза) имаксимальная интенсивность фотолюминесценции сверхрешетки наблюдаются после отжига при900oC. При увеличении температуры отжига до1050oC интенсивность излучения, связанного с эрбием, в сверхрешетке существенно уменьшается, что может быть связано с термодеструкцией сверхрешетки.
Емельянов А.М., Соболев Н.А., Шек Е.И., Лундин В.В., Усиков А.С., Паршин Е.О. Влияние увеличения дозы имплантации ионов эрбия и температуры отжига нафотолюминесценцию всверхрешеткахAlGaN/GaN иэпитаксиальных слояхGaN // ФТП, 2005, том 39, выпуск 9, Стр. 1080