Винокуров Д.А., Капитонов В.А., Николаев Д.Н., Станкевич А.Л., Лютецкий А.В., Пихтин Н.А., Слипченко С.О., Соколова З.Н., Фетисова Н.В., Арсентьев И.Н., Тарасов И.С.
- Журнал "Физика и Техника Полупроводников" , 2001
Разработана технология газофазной эпитаксии из металлорганических соединений (МОС-гидридной эпитаксии) лазерных гетероструктур всистеме твердых растворов InGaP/GaAs/InGaAs намодифицированной установке Epiquip VP-50-RP. Изготовлены меза-полосковые лазерные диоды спороговыми плотностями тока Jth=10...
Разработана технология газофазной эпитаксии из металлорганических соединений (МОС-гидридной эпитаксии) лазерных гетероструктур всистеме твердых растворов InGaP/GaAs/InGaAs намодифицированной установке Epiquip VP-50-RP. Изготовлены меза-полосковые лазерные диоды спороговыми плотностями тока Jth=100-200 A/cм2, внутренними оптическими потерями alphai=1.3-1.7 см-1 и внутренним квантовым выходом etai=60-70%. Получена в непрерывном режиме генерации оптическая мощность излучения 5 Вт для лазерного диода сапертурой 100 мкм на длине волны излучения 1.03 мкм. Показано, что использование волноводных AlGaAs-слоев, увеличивающих глубину потенциальной ямы активной области для электронов, ослабляет температурную чувствительность лазерных гетероструктур втемпературном диапазоне 10--80oC.
Винокуров Д.А., Капитонов В.А., Николаев Д.Н., Станкевич А.Л., Лютецкий А.В., Пихтин Н.А., Слипченко С.О., Соколова З.Н., Фетисова Н.В., Арсентьев И.Н., Тарасов И.С. InGaAs/GaAs/InGaP-лазеры сшироким контактом, полученные методом МОС-гидридной эпитаксии // ФТП, 2001, том 35, выпуск 11, Стр. 1380