Определен температурный интервал, в котором наблюдается возникновение осциллирующих распределений примеси в сильно легированном бором кремнии, облученном ионами B+. Предполагается, что эффект связан с процессами кластеризации бора, которые наиболее эффективно происходят в районе максимума распред...
Определен температурный интервал, в котором наблюдается возникновение осциллирующих распределений примеси в сильно легированном бором кремнии, облученном ионами B+. Предполагается, что эффект связан с процессами кластеризации бора, которые наиболее эффективно происходят в районе максимума распределения имплантированной примеси и на границах возмущенной облучением области.
Мясников А.М., Ободников В.И., Серяпин В.Г., Тишковский Е.Г., Фомин Б.И., Черепов Е.И. Формирование квазипериодического распределения бора в кремнии, инициированное ионной имплантацией // ФТП, 1997, том 31, выпуск 3, Стр. 338