Методом емкостной спектроскопии глубоких уровней проведено исследование изменений при отжиге спектра состояний на границеSi/SiO2, полученной прямым сращиванием, и на границе Si(подложка)/<термический SiO2> в структурах кремний-на-изоляторе. Структуры создавались методом сращивания пластин к...
Методом емкостной спектроскопии глубоких уровней проведено исследование изменений при отжиге спектра состояний на границеSi/SiO2, полученной прямым сращиванием, и на границе Si(подложка)/<термический SiO2> в структурах кремний-на-изоляторе. Структуры создавались методом сращивания пластин кремния с расслоением одной из пластин по плоскости, ослабленной имплантацией водорода. Отжиг структур кремний-на-изоляторе проводился при430oC в течение15 мин в атмосфере водорода, что соответствует стандартному режиму пассивации состояний на границеSi/SiO2. Показано, что для границы Si/<термический SiO2> в структуре кремний-на-изоляторе имеет место пассивация граничных состояний водородом, в результате чего плотность ловушек существенно уменьшается и непрерывный спектр состояний во всей зоне заменяется полосой состояний в интервале энергийEc-(0.1/ 0.35) эВ. Для ловушек на сращенной границе Si/SiO2 происходит трансформация центров, а именно, наблюдается смещение полосы энергий состояний отEc-(0.17/ 0.36) эВ доEc-(0.08/ 0.22) эВ; сечение захвата на ловушки уменьшается примерно на порядок, а плотность наблюдаемых ловушек несколько увеличивается.
Антонова И.В., Стано Й., Николаев Д.В., Наумова О.В., Попов В.П., Скуратов В.А. Трансформация при отжиге вводороде состояний награницах раздела структур кремний-на-изоляторе // ФТП, 2002, том 36, выпуск 1, Стр. 65