Изучено влияние ультразвуковой обработки на физико-химические, структурные и электрофизические свойства структур Pt, Cr, W/n-n+-GaAs. Показано, что ультразвуковая обработка приводит к пространственной и химической упорядоченности приконтактной области GaAs, что обусловливает уменьшение обратных т...
Изучено влияние ультразвуковой обработки на физико-химические, структурные и электрофизические свойства структур Pt, Cr, W/n-n+-GaAs. Показано, что ультразвуковая обработка приводит к пространственной и химической упорядоченности приконтактной области GaAs, что обусловливает уменьшение обратных токов диодных структур с барьером Шоттки. Обсуждается возможный механизм воздействия ультразвуковой обработки на структурную и химическую перестройку в контакте M/n-n+-GaAs.
Ермолович И.Б., Миленин В.В., Конакова Р.В., Применко Л.Н., Прокопенко И.В., Громашевский В.Л. Влияние ультразвуковой обработки на деформационные эффекты иструктуру локальных центров в подложке и приконтактных областях структур M/n-n+-GaAs (M= Pt, Cr, W) // ФТП, 1997, том 31, выпуск 4, Стр. 503