Исследованы изменения в структурах Al/SiO2/Si, возникающие в результате воздействия импульсным электромагнитным излучением с длительностью переднего фронта импульса 1.4· 10-9 с и с общей длительностью импульса ~ 11.5· 10-9 с, частотой следования импульсов10 кГц и различной энергией...
Исследованы изменения в структурах Al/SiO2/Si, возникающие в результате воздействия импульсным электромагнитным излучением с длительностью переднего фронта импульса 1.4· 10-9 с и с общей длительностью импульса ~ 11.5· 10-9 с, частотой следования импульсов10 кГц и различной энергией в импульсе (=<sssim 2.4· 10-4 Дж). Измерены вольт-фарадные характеристики таких структур до, во время и после воздействия сверхкороткими импульсами. Взависимости от энергии импульса обнаружены изменения во время воздействия, связанные с перестройкой неравновесной дефектной структуры границы раздела с полупроводником и поляризацией диэлектрика, а также необратимые изменения, связанные с пробоем, наблюдаемые и после выключения воздействия.
Терехов В.А., Манько А.Н., Бормонтов Е.Н., Левченко В.Н., Требунских С.Ю., Тутов Е.А., Домашевская Э.П. Влияние сверхкоротких импульсов электромагнитного излучения напараметры структур металл--диэлектрик--полупроводник // ФТП, 2004, том 38, выпуск 12, Стр. 1435