В термически выращенные на Si слои SiO2 имплантированы ионы Si+ дозой~ 1017 см-2 с энергиями 100 и 200 кэВ. Использовались два вида импульсных отжигов: при 900/ 1200oC в течение 1 с и при 1050/ 1350oC в течение 20 мс. После имплантации наблюдалась фотолюминесценция в видимой и ближней инфрак...
В термически выращенные на Si слои SiO2 имплантированы ионы Si+ дозой~ 1017 см-2 с энергиями 100 и 200 кэВ. Использовались два вида импульсных отжигов: при 900/ 1200oC в течение 1 с и при 1050/ 1350oC в течение 20 мс. После имплантации наблюдалась фотолюминесценция в видимой и ближней инфракрасной областях спектра. На начальных этапах отжига интенсивность фотолюминесценции падала, однако после отжига при 1200oC, 1 c или при 1350oC, 20 мс она резко возрастала в десятки раз. Согласно данным комбинационного рассеяния и высокоразрешающей электронной микроскопии, этому соответствовало формирование в SiO2 нанокристаллов Si. Используемые длительности отжигов исключали диффузионно-контролируемый рост нанокристаллов Si, но их формирование могло происходить за счет твердофазной кристаллизации аморфных включений. Корреляция между резким усилением люминесценции и формированием нанокристаллов Si свидетельствует в пользу квантово-размерного механизма ее возникновения.
Качурин Г.А., Тысченко И.Е., Скорупа В., Янков Р.А., Журавлев К.С., Паздников Н.А., Володин В.А., Гутаковский А.К., Лейер А.Ф. Фотолюминесценции слоев SiO2, имплантированных ионами Si+ иотожженных в импульсном режиме // ФТП, 1997, том 31, выпуск 6, Стр. 730